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• 106 __ |a r

• 200 1_ |a 微电子工艺基础 |A wei dian zi gong yi ji chu |f 李薇薇, 王胜利, 刘玉岭编著 |e |d

• 205 __ |a

• 210 __ |a 北京 |c 化学工业出版社 |d 2007

• 215 __ |a 257页 |c 图 |d 26cm

• 225 __ |a

• 320 __ |a 有书目

• 330 __ |a 本书前部分主要介绍了集成电路制备工艺中有关物理、化学知识, 后面介绍了工艺过程、工艺设备以及IC制备中的新技术、新方法。

• 606 __ |a 微电子技术 |A wei dian zi ji shu |x 生产工艺

• 690 __ |a TN405 |v 4

• 701 __ |a 李薇薇 |A li wei wei |4 编著

• 701 __ |a 王胜利 |A wang sheng li |4 编著

• 701 __ |a 刘玉岭 |A liu yu ling |4 编著

• 801 __ |a CN |b ATSU |c 20070721

• 905 __ |a ASTU |d TN405/3

• 915 __ |b 627727-30 |d TN405 |e 3 |a