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• 102 __ |a CN |b 110000

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• 200 1_ |a 微机电系统设计与制造 |9 wei ji dian xi tong she ji yu zhi zao |f 刘晓明，朱钟淦编著 |e |d

• 205 __ |a

• 210 __ |a 北京 |c 国防工业出版社 |d 2006

• 215 __ |a 12,371页 |c 图 |d 23cm

• 225 __ |a

• 300 __ |a 电子科技大学研究生系列教材建设项目 研究生系列规划教材

• 312 __ |a 封面英文题名：MEMS design and manufacture

• 330 __ |a 本书内容包括：MEMS的概论、MEMS的设计、集成电路(IC)基本制造技术，MEMS的制造技术、微传感器和微执行器等。_

• 510 __ |a MEMS design and manufacture |z eng

• 606 __ |a 微电机 |x 研究生 |j 教材

• 606 __ |a 微电机

• 690 __ |a TM38 |v 4

• 701 __ |a 刘晓明 |9 liu xiao ming |c (电子科技) |4 编著

• 701 __ |a 朱钟淦 |9 zhu zhong gan |4 编著

• 801 __ |a CN |b 江苏新华 |c 20060429

• 905 __ |a ASTU |d TM38/6

• 915 __ |b 569792-4 |d TM38 |e 6 |a