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• 005 20230618201300.0

• 010 __ |a 978-7-121-42877-7 |d CNY188.00

• 100 __ |a 20220412d2022 em y0chiy50 ea

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• 102 __ |a CN |b 110000

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• 106 __ |a r

• 200 1_ |a 扫描电镜和能谱仪的原理与实用分析技术 |A sao miao dian jing he neng pu yi de yuan li yu shi yong fen xi ji shu |b 专著 |f 工业和信息化部电子第五研究所组编 |g 施明哲编著

• 205 __ |a 2版

• 210 __ |a 北京 |c 电子工业出版社 |d 2022

• 215 __ |a 16,480页 |c 图 |d 24cm

• 225 2_ |a 可靠性技术丛书 |A Ke Kao Xing Ji Shu Cong Shu

• 330 __ |a 全书分为上、下两篇和一些相关的附录。上篇包括第1-9章，主要论述了扫描电镜的原理、结构、操作要点和应用中几种常见的图像质量问题，以及一些改善图像质量的应对方法和措施，也列举了多种电子元器件在电应力和环境应力等作用下的一些典型失效案例。书中还介绍了有关电镜和能谱仪的维护、保养及安装场地的选择等注意事项，以供用户在规划和选择安装场地时参考。下篇包括第10-18章，主要介绍了X射线能谱仪的原理、数据采集和处理及具体的应用技术，其中包括Si（Li）与SDD新旧两种谱仪探测芯片的基本原理，以及能谱仪在定性、定量分析中常遇到的一些棘手问题及应对方法。最后还简略地介绍了罗兰圆波谱仪和平行光波谱仪的原理及它们各自的特点。

• 461 _0 |1 2001 |a 可靠性技术丛书

• 606 0_ |a 扫描电子显微镜 |A Sao Miao Dian Zi Xian Wei Jing

• 606 0_ |a 电子能谱仪 |A Dian Zi Neng Pu Yi

• 690 __ |a TN16 |v 5

• 690 __ |a TH842 |v 5

• 701 _0 |a 施明哲 |A shi ming zhe |4 编著

• 712 02 |a 工业和信息化部电子第五研究所 |A gong ye he xin xi hua bu dian zi di wu yan jiu suo |4 组编

• 801 _0 |a CN |b LIB |c 20230618

• 905 __ |a LIB |d TN16/5-2