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• 010 __ |a 978-7-5669-2213-7 |d CNY45.00

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• 200 1_ |a 集成电路工艺实验基础 |A ji cheng dian lu gong yi shi yan ji chu |f 石建军，郭颖主编

• 210 __ |a 上海 |c 东华大学出版社 |d 2023

• 215 __ |a 164页 |c 图 |d 26cm

• 300 __ |a 高等教育“十四五”部委级规划教材

• 330 __ |a 本书共三章：基础工艺、检测测量技术、工艺基础及应用。实验内容包括：真空技术、硅片的清洗及氧化、光刻工艺流程实验教学、MOSFET器件特性的测量与分析、椭圆偏振仪测薄膜厚度、表面波等离子体放电实验、脉冲放电等离子体特性实验等。

• 606 0_ |a 集成电路工艺 |x 实验 |x 高等教育 |j 教材

• 690 __ |a TN405-33 |v 5

• 701 _0 |a 石建军 |A shi jian jun |4 主编

• 701 _0 |a 郭颖 |A guo ying |4 主编