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• 010 __ |a 978-7-5124-1451-8 |d CNY28.00

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• 200 1_ |a 微机械电子系统及其应用 |A wei ji xie dian zi xi tong ji qi ying yong |f 刘广玉，樊尚春，周浩敏编著

• 205 __ |a 2版

• 210 __ |a 北京 |c 北京航空航天大学出版社 |d 2015

• 215 __ |a 195页 |c 图 |d 26cm

• 300 __ |a 普通高校“十二五”规划教材

• 330 __ |a 本书主要介绍当今微机电系统的内容、应用及其发展，内容包括微机电系统的组成和应用、微机电系统材料、微机械制造技术、微机械执行器、微机械传感器及微机械弱信号检测与处理。

• 606 0_ |a 微型 |A Wei Xing |x 机电系统 |x 高等学校 |j 教材

• 690 __ |a TH-39 |v 5

• 701 _0 |a 刘广玉 |A liu guang yu |4 编著

• 701 _0 |a 樊尚春 |A fan shang chun |4 编著

• 701 _0 |a 周浩敏 |A zhou hao min |4 编著

• 801 _0 |a CN |b 91MARC |c 20150814

• 905 __ |a LIB |d TH-39/180-2