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• 200 1_ |a 微机电系统设计与制造 |A wei ji dian xi tong she ji yu zhi zao |f 莫锦秋等编著

• 210 __ |a 北京 |c 化学工业出版社 |d 2004

• 215 __ |a 177页 |d 26cm

• 225 2_ |a 光机电一体化丛书 |A Guang Ji Dian Yi Ti Hua Cong Shu

• 330 __ |a 本书主要从普及的角度介绍微机电系统及其相关技术，对微机电系统的定义、起源及研究现状、制造技术、系统构成、设计技术进行介绍。

• 461 _0 |1 2001 |a 光机电一体化丛书

• 606 0_ |a 微电子技术 |A Wei Dian Zi Ji Shu |j 普及读物

• 606 0_ |a 微电子技术 |A Wei Dian Zi Ji Shu

• 690 __ |a TN4-49 |v 4

• 701 _0 |a 莫锦秋 |A mo jin qiu deng |4 编著

• 801 _0 |a CN |b 91MARC |c 20130904

• 905 __ |a LIB |d TN4-49/2