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• 200 1_ |a 太赫兹行波管高频电路及其微制造技术 |A tai he zi xing bo guan gao pin dian lu ji qi wei zhi zao ji shu |f 马天军编著

• 210 __ |a 北京 |c 北京航空航天大学出版社 |d 2024

• 215 __ |a 122页 |c 图 |d 24cm

• 330 __ |a 本书着重对0.1THz、0.22THz、0.3THz和1.03THz折叠波导高频结构及其微细制造方法进行了阐述。对0.1THz折叠波导采用超精密电火花线切割技术和LIGA技术来进行制造；对于0.22THz折叠波导及其集成级联结构采用UV-LIGA技术来制造；对于0.3THz折叠波导则采用LIGA工艺来制造；对于1.03THz折叠波导高频结构采用DRIE技术来制造。针对不同的制造方法，分别设计了具体的实施方案。本书对微细制造工艺过程中的关键工艺技术进行了描述。

• 606 0_ |a 高频 |A Gao Pin |x 电子电路

• 690 __ |a TN710.6 |v 5

• 701 _0 |a 马天军 |A ma tian jun |4 编著

• 801 _0 |a CN |b LIB |c 20250701

• 905 __ |a LIB |d TN710.6/14