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- 100 __ |a 20120821d2012 em y0chiy50 ea
- 200 1_ |a 真空镀膜 |A zhen kong du mo |f 李云奇编著
- 210 __ |a 北京 |c 化学工业出版社 |d 2012
- 215 __ |a 310页 |c 图 |d 26cm
- 225 2_ |a 真空科学技术丛书 |A zhen kong ke xue ji shu cong shu
- 330 __ |a 全书共分为11章, 内容包涵了真空镀膜中物理基础, 各种蒸发源与溅射靶的设计、特点、使用要求, 各种真空镀膜方法以及薄膜的测量与监控等。
- 410 _0 |1 2001 |a 真空科学技术丛书
- 606 0_ |a 真空技术 |A zhen kong ji shu |x 镀膜
- 701 _0 |a 李云奇 |A li yun qi |4 编著
- 801 _0 |a CN |b 安徽新华 |c 20131009