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• 101 0_ |a chi |c eng

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• 106 __ |a r

• 200 2_ |a MEMS和微系统——设计与制造 |A MEMS He Wei Xi Tong—— She Ji Yu Zhi Zao |d = MEMS & microsystems-design and manufacture |f (美) 徐泰然著 |g 王晓浩 ... [等] 译 |z eng

• 210 1_ |a 北京 |c 机械工业出版社 |d 2005

• 215 __ |a 402页 |c 图 |d 24cm

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• 304 __ |a 题名页题：冯焱颖, 熊继军, 杨兴, 蓝金辉

• 306 __ |a 本书中文简体字翻译版由机械工业出版社和美国麦格劳－希尔教育(亚洲)出版公司合作出版

• 320 __ |a 有书目 (第394-402页)

• 330 __ |a 本书提供了对MEMS技术基础的深入观察，涉及MEMS的力学、物理和材料科学基础，讲解了微系统工程的基本原理，列举了MEMS及其在制造、通信、生物工程、运输和其他领域的应用。

• 461 _1 |1 2001

• 510 __ |a MEMS & microsystems-design and manufacture |z eng

• 606 __ |a 微电子技术 |A Wei Dian Zi Ji Shu |x 应用 |x 机械系统

• 690 __ |a TH-39 |v 4

• 701 __ |4 著 |a 徐泰然 |A Xu Tai Ran

• 702 __ |4 译 |a 王晓浩 |A Wang Xiao Hao

• 801 __ |a CN |b ASTU |c 20060321

• 905 __ |a ASTU |d TH-39/30

• 915 __ |b 423215-19 |d TH-39 |e 30