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• 101 __ |a chi |c eng

• 102 __ |a CN |b 110000

• 105 __ |a a z 001yy

• 106 __ |a r

• 200 1_ |a 微加工导论 |9 wei jia gong dao lun |d Introduction to microfabrication |f (芬)Sami Franssila著 |g 陈迪等译 |z eng |e

• 205 __ |a

• 210 __ |a 北京 |c 电子工业出版社 |d 2006

• 215 __ |a 20,444页 |c 图 |d 26cm

• 225 __ |a

• 300 __ |a 国外电子与通信教材系列

• 305 __ |a Wiley Publishing, Inc授权出版

• 330 __ |a 本书介绍了微加工的材料、基本工艺、结构、工艺集成、设备和制造等各个方面。书中还介绍了微加工技术涉及的净化室、成品率、晶圆厂、摩尔定律等。

• 510 __ |a Introduction to microfabrication |z eng

• 606 __ |a 特种加工 |j 教材

• 606 __ |a 特种加工

• 690 __ |a TG66 |v 4

• 701 __ |c (芬) |a 弗兰西拉 |9 fu lan xi la |c (Franssila, Sami) |4 著

• 702 __ |a 陈迪 |9 chen di |c (微加工) |4 译

• 801 __ |a CN |b ATTC |c 20070412

• 905 __ |a ASTU |d TG66/6

• 915 __ |b 557474-8 |d TG66 |e 6 |a