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• 200 1_ |a RF MEMS器件与技术 |A RF MEMS qi jian yu ji shu |d RF MEMS devices and technology |f 郭兴龙编著 |z eng

• 210 __ |a 镇江 |c 江苏大学出版社 |d 2021

• 215 __ |a 175页 |c 图 |d 26cm

• 330 __ |a 本书共11章,内容包括：微机电系统力学基础、MEMS工艺、RF MEMS 器件设计微波基础、微机电系统材料等。

• 510 1_ |a RF MEMS devices and technology |z eng

• 606 0_ |a 微机电系统 |x 元器件

• 606 0_ |a 微机电系统 |x 技术

• 690 __ |a TN4 |v 5

• 690 __ |a TN6 |v 5

• 701 _0 |a 郭兴龙 |A guo xing long |4 编著

• 801 _0 |a CN |b LIB |c 20240601

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