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• 010 __ |a 978-7-121-46695-3 |d CNY98.00

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• 200 1_ |a MEMS法珀腔光学声传感器 |A MEMS fa po qiang guang xue sheng chuan gan qi |f 郑永秋, 陈佳敏, 武丽云著

• 210 __ |a 北京 |c 电子工业出版社 |d 2023.11

• 215 __ |a 211页 |c 图 |d 23cm

• 225 2_ |a 工业信息化技术丛书 |A gong ye xin xi hua ji shu cong shu

• 314 __ |a 郑永秋, 博士, 中北大学副教授, 硕士生导师。山西省“三晋英才”青年优秀人才, 山西省优秀青年基金获得者, 山西省光学学会理事。陈佳敏, 博士, 中北大学讲师, 主要从事MEMS光学声传感测试技术研究, 主持山西省基础研究计划青年基金项目。武丽云, 博士, 太原工业学院讲师, 主要研究领域为光学声传感器的制备, 以及智能机器人感知系统等。

• 320 __ |a 有书目 (第194-211页)

• 330 __ |a 本书系统地论述了MEMS法珀腔光学声传感器的传感机理、法珀腔声敏感结构的优化设计及制备、调相谱检测的声信号解调技术等, 还对MEMS法珀腔光学声传感器进行了测试与分析。

• 333 __ |a 本书对从事MEMS光学声传感技术研究、设计、制造和应用的科技人员有一定的参考价值, 也可作为相关专业本科生和研究生的教学参考书

• 410 _0 |1 2001 |a 工业信息化技术丛书

• 606 0_ |a 光纤传感器 |A guang qian chuan gan qi

• 690 __ |a TP212.4 |v 5

• 701 _0 |a 郑永秋 |A zheng yong qiu |4 著

• 701 _0 |a 陈佳敏 |A chen jia min |4 著

• 701 _0 |a 武丽云 |A wu li yun |4 著

• 801 _0 |a CN |b 湖北三新 |c 20240102