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• 000 01059nam0 2200265 450

• 001 0000807290

• 005 20230913125644.0

• 010 __ |a 978-7-04-060468-9 |b 精装 |d CNY99.00

• 100 __ |a 20230822d2023 em y0chiy0110 ea

• 101 0_ |a chi

• 102 __ |a CN |b 110000

• 105 __ |a a z 000yy

• 106 __ |a r

• 200 1_ |a MEMS压力传感器理论与技术 |A MEMS ya li chuan gan qi li lun yu ji shu |d Theories and technologies of MEMS pressure sensors |f 蒋庄德等著 |z eng

• 210 __ |a 北京 |c 高等教育出版社 |d 2023

• 215 __ |a 358页 |c 图 |d 26cm

• 225 1_ |a 先进制造与智能制造前沿技术丛书

• 300 __ |a 机械工程前沿著作系列

• 300 __ |a 国家科学技术著作出版基金资助出版 “十四五”国家重点出版物出版规划项目

• 330 __ |a 本书共13章，主要内容包括：绪论、MEMS压力传感器基础理论、MEMS压力传感器硅微工艺、SOI耐高温阻式压力传感器、微型压力传感器、高频压力传感器、谐振式压力传感器等。

• 510 1_ |a Theories and technologies of MEMS pressure sensors |z eng

• 606 0_ |a 压力传感器

• 690 __ |a TP212 |v 5

• 701 _0 |a 蒋庄德 |A jiang zhuang de |f (1955-) |4 著

• 801 _0 |a CN |b 辽批 |c 20230914