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• 010 __ |a 978-7-03-045919-0 |d CNY128.00

• 100 __ |a 20110603d2015 km y0chiy0120 ea

• 101 0_ |a chi |c eng

• 102 __ |a CN |b 110000

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• 106 __ |a r

• 200 1_ |a 射频等离子体物理学 |A she pin deng li zi ti wu li xue |f (法)帕斯卡·夏伯特,(英)尼古拉斯·布雷斯韦特著 |g 王友年,徐军,宋远红译

• 210 __ |a 北京 |c 科学出版社 |d 2015

• 215 __ |a 321页 |c 图 |d 24cm

• 225 2_ |a 现代应用物理学丛书 |A xian dai ying yong wu li xue cong shu

• 312 __ |a 版权页英文题名:Physics of radio-frequency plasmas

• 330 __ |a 本书针对微电子工业中的材料处理工艺(如半导体芯片加工)，介绍有关的的低气压射频等离子体的产生方法及物理特性，涉及目前最重要的三种射频等离子体源(单频及多频电容耦合，电感耦合，螺旋波耦合)及其关联性。

• 410 _0 |1 2001 |a 现代应用物理学丛书

• 510 1_ |a Physics of radio-frequency plasmas |z eng

• 606 0_ |a 射频 |A she pin |x 等离子体物理学

• 690 __ |a O53 |v 5

• 701 _1 |a 夏伯特 |A xia bo te |g (Chabert, Pascal) |4 著

• 701 _1 |a 布雷斯韦特 |A bu lei si wei te |g (Braithwaite, Nicholas) |4 著

• 702 _0 |a 王友年 |A wang you nian |4 译

• 702 _0 |a 徐军 |A xu jun |4 译

• 702 _0 |a 宋远红 |A song yuan hong |4 译

• 801 _0 |a CN |b LIB |c 20180316

• 905 __ |a LIB |d O53/21