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• 102 __ |a CN |b 110000

• 105 __ |a ak a 000yy

• 106 __ |a r

• 200 1_ |a 微光机电系统 (MOEMS) |A Wei Guang Ji Dian Xi Tong (MOEMS) |f 张文栋, 熊继军编著 |e |d

• 205 __ |a

• 210 __ |a 北京 |c 机械工业出版社 |d 2006

• 215 __ |a 310页 |c 图 |d 24cm

• 225 __ |a 光机电一体化技术丛书 |A Guang Ji Dian Yi Ti Hua Ji Shu Cong Shu

• 320 __ |a 有书目

• 330 __ |a 本书介绍了微光机电系统的国内外发展状况，微器件的结构设计与仿真，常用的微制造技术等。

• 333 __ |a 从事MOEMS技术应用的开发和工程设计人员、科技管理人员及相关专业研究生。

• 410 __ |1 2001 |a 光机电一体化技术丛书

• 606 __ |a 微光技术 |A Wei Guang Ji Shu |x 应用 |x 机电系统

• 690 __ |a TH-39 |v 4

• 701 __ |a 张文栋 |A Zhang Wen Dong |4 编著

• 701 __ |a 熊继军 |A Xiong Ji Jun |4 编著

• 801 __ |a CN |b ATSU |c 20070514 |U 孙菡

• 905 __ |a ASTU |d TH-39/48

• 915 __ |b 568907-9 |d TH-39 |e 48 |a