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• 102 __ |a CN |b 110000

• 105 __ |a a a 001yy

• 106 2_ |a r

• 200 1_ |a 微光机电系统 |A wei guang ji dian xi tong |d = Optical MEMS / MOEMS |f (日) 泽田廉士, 羽根一博, 日暮荣治著 |F (ri)ze tian lian shi,yu gen yi bo,ri mu rong zhi zhu |g 李元燮译 |G li yuan xie yi |z eng

• 210 __ |a 北京 |c 科学出版社 |d 2005

• 215 _0 |a 347页 |c 图 |d 24cm

• 225 _0

• 300 __

• 306 __ |a 本书实际出版年是2004年

• 320 __ |a 有书目 (第329-333页) 和索引。

• 330 __ |a 本书共由三篇构成。第1篇重点介绍微光机电系统在各领域中的应用, 即光开关、反射镜阵列、衰减器、显示器、扫描仪、分光计、波长可变光学元件、执行器、 可动结构体、传感与传感器等; 第2篇是微光机电系统光学, 主要介绍微光机电系统中应用的光学原理, 即光的反射及折射、干涉、衍射、自由空间光学、光辐射压、近场光学等; 第3篇主要介绍材料、制造、封装等。

• 461 _1 |1 2001

• 510 __ |a Optical MEMS / MOEMS |z eng

• 606 __ |a 光电子技术 |x 机电一体化 |x 研究

• 606 __ |a 微电子技术 |x 机电一体化 |x 研究

• 690 __ |a TH2 |v 4

• 690 __ |a TN2 |v 4

• 701 __ |4 著 |a 泽田廉士 |A ze tian lian shi

• 701 __ |4 著 |a 日暮荣治 |A ri mu rong zhi

• 701 __ |4 著 |a 羽根一博 |A yu gen yi bo

• 702 __ |4 译 |a 李元燮 |A li yuan xie

• 801 __ |a CN |b ASTU |c 20051121

• 905 __ |a ASTU |d TH2/2

• 915 __ |d TH2 |e 2 |b 342568-70