机读格式显示(MARC)

• 000 01242nam 22002891 450

• 001 0000332399

• 005 20141022092600.0

• 010 __ |a 978-7-03-038996-1 |b 精装 |d CNY135.00

• 100 __ |a 20141022d2014 em y0chiy0121 ea

• 101 0_ |a chi

• 102 __ |a CN |b 110000

• 105 __ |a ak a 001yy

• 106 __ |a r

• 200 1_ |a 射频微机电系统的理论、设计、制备及应用 |A She Pin Wei Ji Dian Xi Tong De Li Lun She Ji Zhi Bei Ji Ying Yong |f 张海霞, 缪旻, 方东明著

• 210 __ |a 北京 |c 科学出版社 |d 2014.1

• 215 __ |a x, 416页 |c 图 |d 25cm

• 225 2_ |a 微纳制造的基础研究学术著作丛书 |A Wei Na Zhi Zao De Ji Chu Yan Jiu Xue Shu Zhu Zuo Cong Shu

• 320 __ |a 有书目和索引

• 330 __ |a 本书系统地论述了微机电系统中射频元器件的物理模型、等效电路、性能表征和实验结果, 并详细论述了射频微机电系统元器件结构设计和制备方法。本书聚集在射频微机电系统元器件的设计、加工和测试, 创新内容较多。本书可作为相关领域本科生、研究生和教师的教学参考书, 并可供相关的科技人员参考。

• 410 _0 |1 2001 |a 微纳制造的基础研究学术著作丛书

• 606 0_ |a 微电子技术 |A Wei Dian Zi Ji Shu |x 射频系统 |x 研究

• 690 __ |a TN4 |v 4

• 701 _0 |a 张海霞 |A Zhang Hai Xia |4 著

• 701 _0 |a 缪旻 |A Miao Min |4 著

• 701 _0 |a 方东明 |A Fang Dong Ming |4 著

• 801 _0 |a CN |b 安徽新华

• 905 __ |a LIB |d TN4/35