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• 200 1_ |a 微机电系统机械学 |A wei ji dian xi tong ji xie xue |f 张向军编著 |d = Mechanics fundamentals of MEMS |f Zhang Xiangjun |z eng

• 210 __ |a 北京 |c 清华大学出版社 |d 2012.9

• 215 __ |a 157页 |c 图 |d 23cm

• 225 2_ |a 清华大学微机电系统工程系列教材

• 320 __ |a 有书目

• 330 __ |a 全书共6章, 重点揭示了微机电系统的表界面效应、微尺度表面力的来源与作用规律、微构件在各种微尺度表面力作用下的变形、接触与运动规律, 以及微纳米间隙和管道中的流体特性、驱动原理和流动规律, 并结合典型的微机电系统阐述了应用实例。

• 410 _0 |1 2001 |a 清华大学微机电系统工程系列教材

• 510 1_ |a = Mechanics fundamentals of MEMS |z eng

• 606 0_ |a 微电机 |A wei dian ji |x 高等学校 |j 教材

• 690 __ |a TM38 |v 4

• 701 _0 |a 张向军 |A zhang xiang jun |4 编著

• 801 _0 |a CN |b 安徽新华 |c 20130929

• 905 __ |a ASTU |d TM38/13

• 915 __ |b 2337266-8 |d TM38 |e 13 |f 3