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• 005 20170315195600.0

• 010 __ |a 978-7-111-51482-4 |d CNY128.00

• 100 __ |a 20151210d2016 em y0chiy0110 ea

• 101 1_ |a chi |c eng

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• 200 1_ |a 微米加工与纳米制造 |A wei mi jia gong yu na mi zhi zao |f (美) 马克 J. 杰克逊主编 |g 缪旻, 张月霞, 李振松译

• 210 __ |a 北京 |c 机械工业出版社 |d 2016

• 215 __ |a xxi, 375页 |c 图 |d 24cm

• 225 2_ |a 国际制造业先进技术译丛 |A guo ji zhi zao ye xian jin ji shu yi cong

• 306 __ |a 本书中文简体翻译版授权由机械工业出版社独家出版并在限在中国大陆地区销售

• 312 __ |a 英文题名原文取自版权页

• 314 __ |a Mark J. Jackson, 现任美国Purdue大学机械工程专业副教授。缪旻, 1973年11月出生。2004年12月毕业于北京大学微电子学研究院。张月霞, 1978年10月出生, 2008年9月毕业于北京邮电大学通信工程学院。李振松, 1982年3月出生。2008年4月毕业于北京邮电大学信息与通信工程学院。

• 320 __ |a 有书目

• 330 __ |a 本书较为系统地梳理了微米加工 (特别是非硅基加工) 技术以及纳米加工手段, 结合微流体、微惯性器件、纳米传感器等方面的典型案例, 阐释了这些技术的原理和特点, 提出了特点问题的高效率解决方案, 给出了工艺设计方面的指南, 并对这些技术的发展走向做出了高屋建瓴的判断。

• 461 _0 |1 2001 |a 国际制造业先进技术译丛

• 500 10 |a Microfabrication and nanomanufacturing |A Microfabrication And Nanomanufacturing |m Chinese

• 606 0_ |a 纳米材料 |A na mi cai liao |x 新技术应用

• 606 0_ |a 纳米材料 |A na mi cai liao

• 606 0_ |a 新技术应用 |A xin ji shu ying yong

• 690 __ |a TB383 |v 5

• 701 _1 |c (美) |a 杰克逊 |A jie ke xun |c (Jackson, Mark J.) |4 主编

• 702 _0 |a 缪旻, |A miao min |f 1973- |4 译

• 702 _0 |a 张月霞, |A zhang yue xia |f 1978- |4 译

• 702 _0 |a 李振松, |A li zhen song |f 1982- |4 译

• 801 _0 |a CN |b LIB |c 20170315

• 905 __ |a LIB |d TB383/124