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• 101 __ |a chi

• 200 __ |a 微电子制造科学原理与工程技术=The Science Engineering of microelectronic Fabrication |f [美]Stephen A.Campdell著

• 210 __ |a 北京 |c 电子工业出版社 |d 2003

• 215 __ |a 613页 |d 26CM

• 606 __ |a 微电子技术-教材

• 690 __ |a TM405

• 701 __ |4 著 |a Stephen A.Campdell

• 801 __ |a CN |b ATTC |c 20031201

• 905 __ |a ASTU |d TM405/1

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