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• 010 __ |a 978-7-308-13910-6 |d CNY36.00

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• 102 __ |a CN |b 330000

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• 106 __ |a r

• 200 1_ |a 半导体薄膜技术与物理 |A ban dao ti bo mo ji shu yu wu li |d = Physics and technology of semiconductor thin films |f 叶志镇 ... [等] 编著 |z eng

• 205 __ |a 2版

• 210 __ |a 杭州 |c 浙江大学出版社 |d 2014

• 215 __ |a 237页 |c 图 |d 26cm

• 225 2_ |a 高等院校材料专业系列规划教材 |A gao deng yuan xiao cai liao zhuan ye xi lie gui hua jiao cai

• 300 __ |a “十二五”普通高等教育本科国家级规划教材

• 304 __ |a 题名页题: 叶志镇, 吕建国, 吕斌, 张银珠编著

• 314 __ |a 叶志镇, 男, 1955年5月生于浙江温州。1987年获浙江大学光仪系工学博士学位。现为浙江大学材料与化学工程学院副院长、浙江大学纳米中心主任。

• 320 __ |a 有书目

• 330 __ |a 本书全面系统地介绍了半导体薄膜的各种制备技术及其相关的物理基础。全书共分十章。第一章概述了真空技术, 第二至第八章分别介绍了蒸发、溅射、化学气相沉积、脉冲激光沉积、分子束外延、液相外延、湿化学合成等各种半导体薄膜的沉积技术, 第九章介绍了半导体超晶格、量子阱的基本概念和理论, 第十章介绍了典型薄膜半导体器件的制备技术。

• 461 _0 |1 2001 |a 高等院校材料专业系列规划教材

• 510 1_ |a Physics and technology of semiconductor thin films |z eng

• 606 0_ |a 半导体薄膜技术 |A ban dao ti bo mo ji shu |x 高等学校 |j 教材

• 606 0_ |a 半导体薄膜技术 |A ban dao ti bo mo ji shu

• 690 __ |a TN304.055 |v 5

• 701 _0 |a 叶志镇, |A ye zhi zhen |f 1955- |4 编著

• 701 _0 |a 吕建国 |A lv jian guo |4 编著

• 701 _0 |a 吕斌 |A lv bin |4 编著

• 801 _0 |a CN |b LIB |c 20151106

• 905 __ |a LIB |d TN304.055/1