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• 200 1_ |a 微机电技术 |A wei ji dian ji shu |f 田文超, 娄利飞编著

• 210 __ |a 西安 |c 西安电子科技大学出版社 |d 2014.8

• 215 __ |a 412页 |c 图 |d 23cm

• 225 2_ |a 新兴微纳电子技术丛书 |A xin xing wei na dian zi ji shu cong shu

• 300 __ |a “十二五”国家重点图书出版规划项目 陕西出版资金资助项目

• 314 __ |a 田文超, 西安电子科技大学教授、博士生导师, 电子封装技术国家级特色专业负责人, 精密仪器及机械学科负责人。

• 320 __ |a 有书目 (第410-412页)

• 330 __ |a 本书系统地介绍了微机电技术基本内容、分析方法和主要内容, 包括微机电系统概述、材料、工艺、典型器件、应用, RF MEMS及重构天线, MEME力学问题等。

• 333 __ |a 可供高年级本科生和研究生使用, 也可作为相关工程技术人员及科技人员的参考书

• 410 _0 |1 2001 |a 新兴微纳电子技术丛书

• 606 0_ |a 微电机 |A wei dian ji

• 690 __ |a TM38 |v 5

• 701 _0 |a 娄利飞 |A lou li fei |4 编著

• 701 _0 |a 田文超 |A tian wen chao |4 编著

• 801 _0 |a CN |b 三新书业 |c 20140821

• 905 __ |a LIB |d TM38/14