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• 010 __ |a 978-7-122-45124-8 |b 精装 |d CNY158.00

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• 200 1_ |a 原子层沉积制造技术及生物传感应用 |A yuan zi ceng chen ji zhi zao ji shu ji sheng wu chuan gan ying yong |d = Atomic layer deposition manufacturing technology and biosensing applications |f 刘磊著 |z eng

• 210 __ |a 北京 |c 化学工业出版社 |d 2024.3

• 215 __ |a 224页 |c 图 |d 25cm

• 320 __ |a 有书目

• 330 __ |a 本书系统介绍了原子层沉积技术原理及生物传感应用, 共分7章, 主要内容包括原子层沉积 (ALD) 技术的基本原理、特点、系统和工作模式, 聚焦于ALD技术的拓展, 涉及了ALD在摩擦、电磁、噪声、量子和生物传感器领域的应用, 重点介绍该技术在生物医学检测领域的前沿发展, 在阐明ALD技术基本原理的同时, 介绍其在前沿领域的先进性和实际应用。

• 333 __ |a 本书可供微纳制造与传感检测等领域的技术工作者阅读使用, 也可作为高等院校相关专业师生的参考书

• 510 1_ |a Atomic layer deposition manufacturing technology and biosensing applications |z eng

• 606 0_ |a 纳米技术 |A na mi ji shu |x 应用 |x 生物传感器 |x 研究

• 690 __ |a TB303 |v 5

• 690 __ |a TP212.3 |v 5

• 701 _0 |a 刘磊 |A liu lei |4 著

• 801 _0 |a CN |b 湖北三新 |c 20240429

• 905 __ |a LIB |d TB303/58