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• 010 __ |a 7-111-20065-9 |d CNY38.00 |b

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• 100 __ |a 20070510d2007 ekmy0chiy0121 ea

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• 106 __ |a r

• 200 1_ |a 气相沉积应用技术 |A qi xiang chen ji ying yong ji shu |f 王福贞, 马文存编著 |e |d

• 205 __ |a

• 210 __ |a 北京 |c 机械工业出版社 |d 2007

• 215 __ |a xiii, 411页 |c 图 |d 24cm

• 225 __ |a

• 320 __ |a 有书目

• 330 __ |a 全书分两篇，第一篇全面阐述了化学气相沉积、物理气相沉积、等离子体增强化学气相沉积的技术基础、技术原理、新的沉积技术、工艺过程、设备配套、膜层质量检测和分析；第二篇介绍了气相沉积技术在工模具硬质涂层、防护涂层、光学薄膜、建筑镀膜玻璃、太阳能利用、集成电路制造、住处存储、显示器件、饰品装饰、塑料金属化、柔性基材的卷绕薄膜产品等方面的应用。该书内容丰富新颖，力求紧密联系实际。

• 606 __ |a 气相沉积 |A qi xiang chen ji |x 基本知识

• 690 __ |a TF111.34 |v 4

• 701 __ |a 王福贞 |A wang fu zhen |4 编著

• 701 __ |a 马文存 |A ma wen cun |4 编著

• 801 __ |a CN |b 政博 |c 20070723

• 905 __ |a ASTU |d TF111.34/1

• 915 __ |b 630007-10 |d TF111.34 |e 1 |a 安徽科技学院