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• 010 __ |a 978-7-312-02233-3 |d CNY88.00

• 100 __ |a 20100701d2009 em y0chiy50 ea

• 101 0_ |a chi |a eng

• 102 __ |a CN |b 340000

• 105 __ |a ak a 000yy

• 106 __ |a r

• 200 1_ |a SOI——纳米技术时代的高端硅基材料 |A SOI—— na mi ji shu shi dai de gao duan gui ji cai liao |d = SOI: advanced silicon-based materials for the nanotechnology era |f 林成鲁编著 |z eng

• 210 __ |a 合肥 |c 中国科学技术大学出版社 |d 2009

• 215 __ |a 468页 |c 图 |d 24cm

• 225 2_ |a 当代科学技术基础理论与前沿问题研究丛书 |A dang dai ke xue ji shu ji chu li lun yu qian yan wen ti yan jiu cong shu |i 中国科学技术大学校友文库

• 300 __ |a “十一五”国家重点图书

• 320 __ |a 有书目

• 330 __ |a 本书收集的纳米技术时代的高端硅基SOI材料方面的研究论文40篇，主要内容包括：SOI——纳米技术时代的高端硅基材料进展，SOI新材料的制备科学，SOI材料与器件特有的物理效应，绝缘体上锗硅（silicon germanium on insulator，SGOI）新结构和应变硅的制备科学，SOI技术的若干应用研究等。书中包含了高端硅基材料前沿领域的多方面创新研究成果。

• 333 __ |a 微电子、光电子、微机械、半导体材料、纳米材料等专业的大专院校师生和专业技术人员重要的参考书，信息领域其他专业的师生、科研人员和工程技术人员参考资料。

• 410 _0 |1 2001 |a 当代科学技术基础理论与前沿问题研究丛书 |i 中国科学技术大学校友文库

• 510 1_ |a SOI: advanced silicon-based materials for the nanotechnology era |z eng

• 606 0_ |a 硅 |A gui |x 纳米材料 |j 文集

• 690 __ |a TB383-53 |v 4

• 701 _0 |a 林成鲁 |A lin cheng lu |4 编著

• 801 _0 |a CN |b 江苏新华 |c 20100701

• 905 __ |a ASTU |d TB383-53/2

• 915 __ |b 1501097 |d TB383-53 |e 2 |f 1