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• 010 __ |a 978-7-03-032282-1 |b 精装 |d CNY80.00

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• 200 1_ |a 纳机电基础效应与器件 |A na ji dian ji chu xiao ying yu qi jian |f 张文栋等著

• 210 __ |a 北京 |c 科学出版社 |d 2011

• 215 __ |a 322,40页 |c 彩图 |d 24cm

• 300 __ |a 纳米科学技术大系 国家科学技术学术著作出版基金资助出版

• 330 __ |a 本书论述了纳机电器件的基本概念、尺度效应和耦合问题，纳机电器件基础结构的制造、测试和表征方法，并对纳机电加速度传感器、纳机电声传感器、纳机电谐振器、微流体角速度传感器等典型纳机电器件进行了深入阐释。

• 606 0_ |a 纳米技术 |x 应用 |x 机电器件 |x 研究

• 690 __ |a TM303 |v 4

• 701 _0 |a 张文栋 |A zhang wen dong |4 著

• 801 _0 |a CN |b 安徽新华 |c 20121129

• 905 __ |a ASTU |d TM303/2

• 915 __ |b 2199958-60 |d TM303 |e 2 |f 3