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• 200 1_ |a 微系统设计与制造 |A wei ji tong she ji yu zhi zao |d = Microsystem design and fabrication |f 王喆垚编著 |z eng

• 205 __ |a 2版

• 210 __ |a 北京 |c 清华大学出版社 |d 2015

• 215 __ |a x, 742页 |c 图 |d 26cm

• 225 2_ |a 信息、控制与系统技术丛书 |A xin xi 、kong zhi yu ji tong ji shu cong shu

• 320 __ |a 有书目

• 330 __ |a 本书主要内容包括: 微系统基本理论、制造技术、微型传感器、微型执行器、RF MEMS、光学MEMS、BioMEMS, 以及微流体和芯片实验室。

• 461 _0 |1 2001 |a 信息、控制与系统技术丛书

• 510 1_ |a Microsystem design and fabrication |z eng

• 606 0_ |a 微电子技术 |A wei dian zi ji shu |x 设计

• 606 0_ |a 微电子技术 |A wei dian zi ji shu |x 制造

• 606 0_ |a 微电子技术 |A wei dian zi ji shu

• 690 __ |a TN4 |v 5

• 701 _0 |a 王喆垚 |A wang zhe yao |4 编著

• 801 _0 |a CN |b LIB |c 20170316

• 905 __ |a LIB |d TN4/39