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• 005 20160413095500.0

• 010 __ |a 978-7-313-12525-5 |d CNY150.00

• 092 __ |a CN |b 人天677-3071

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• 200 1_ |a 非硅MEMS技术及其应用 |A Fei Gui Mems Ji Shu Ji Qi Ying Yong |f 陈文元，张卫平，陈迪著

• 210 __ |a 上海 |c 上海交通大学出版社 |d 2015.03

• 215 __ |a |d 26cm

• 330 __ |a MEMS技术是二十世纪九十年代由IC技术发展而来，二十一世纪得到迅猛发展的一项高新技术，它集微传感器、微执行器、控制电路于一体，涉及机、电、光、信息、微制造、材料等多学科交叉，可广泛应用于信息、生物、汽车、医疗、国防等领域。非硅MEMS技术是在硅MEMS技术基础上发展起来的，又与硅MEMS技术互为补充。作者及其团队长期从事非硅MEMS技术的研究。根据多年的研究，在书中作者详细地叙述了非硅MEMS技术的特点，非硅材料，三维非硅微加工新技术，新型非硅微传感器和微执行器等非硅MEMS技术及其应用。该书是作者长期从事非硅MEMS技术研究，理论结合实际，科学研究的总结。

• 333 __ |a 本书可供从事MEMS技术，微加工、微传感器、微执行器研究和应用的科技人员和高等学校相关专业师生，也可作为机电一体化、精密仪器仪表、微机械等专业师生参考

• 606 __ |a 微电子技术 |A Wei Dian Zi Ji Shu

• 606 __ |a 微电子学 |A Wei Dian Zi Xue

• 690 __ |a TN4 |v 5

• 701 _0 |a 陈文元 |A Chen Wen Yuan |4 著

• 701 _0 |a 张卫平 |A Zhang Wei Ping |4 著

• 701 _0 |a 陈迪 |A Chen Di |4 著

• 801 _0 |时 代发行 |b 人天书店 |c 20150430

• 801 __ |时 代发行

• 901 __ |a 上海交通大学出版社

• 905 __ |a LIB |d TN4/38

• 962 __ |a 5499069

• 997 __ |a 可供