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• 010 __ |a 978-7-308-10879-9 |d CNY35.00

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• 200 1_ |a 硅微机械传感器 |A Gui Wei Ji Xie Chuan Gan Qi |d = Mechanical microsensors |f 郑志霞著 |z eng

• 210 __ |a 杭州 |c 浙江大学出版社 |d 2012.12

• 215 __ |a 199页 |c 图 |d 26cm

• 320 __ |a 有书目

• 330 __ |a 本书分为两部分: 第一部分根据微机械加工的工艺流程, 逐步展开介绍微机械传感器的工艺技术和一些特殊工艺。第二部分介绍硅微机械传感器的最新研究成果, 主要包括微压力传感器、微加速度传感器、微机械陀螺、微热流量传感器等。

• 510 1_ |a Mechanical microsensors |z eng

• 606 0_ |a 传感器 |A Chuan Gan Qi

• 690 __ |a TP212.12 |v 4

• 701 _0 |a 郑志霞 |A Zheng Zhi Xia |4 著

• 801 _0 |a CN |b 安徽新华 |c 20131023

• 905 __ |a ASTU |d TP212.12/1

• 915 __ |d TP212.12 |e 1 |b 2334942-4 |f 3