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• 010 __ |a 978-7-122-43800-3 |b 精装 |d CNY198.00

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• 200 1_ |a 光刻胶材料评测技术 |A guang ke jiao cai liao ping ce ji shu |e 从酚醛树脂光刻胶到最新的EUV光刻胶 |f (日) 关口淳著 |g 方书农译

• 210 __ |a 北京 |c 化学工业出版社 |d 2024.4

• 215 __ |a 254页 |c 图 (部分彩图) |d 27cm

• 306 __ |a 本书中文简体字版由サイエンス& テクノロジー株式会社授权化学工业出版社独家出版发行

• 314 __ |a 关口淳, 1983年毕业于芝浦工业大学工学部应用化学系。进入日本化学科技公司, 在其分析研究所工作。1985年加入住友GCA公司。负责光刻胶涂覆和显影装置的工艺开发。此后, 负责光刻胶显影分析仪和光刻模拟软件的开发。

• 320 __ |a 有书目

• 330 __ |a 本书从光刻技术基础知识出发, 系统介绍了多种类型光刻胶应用工艺、评测技术。具体包括光刻胶涂布、曝光工艺、曝光后烘烤和显影技术, 以及g线和i线光刻胶、KrF和ArF光刻胶、ArF浸没式光刻胶、EUV光刻胶等的特征、应用工艺及评测技术, 希望对国内的研究人员有很好的启发和指导意义。

• 333 __ |a 本书适用于光致抗蚀剂研究者

• 517 1_ |a 从酚醛树脂光刻胶到最新的EUV光刻胶 |A cong fen quan shu zhi guang ke jiao dao zui xin de EUV guang ke jiao

• 606 0_ |a 光致抗蚀剂 |A guang zhi kang shi ji

• 690 __ |a TQ572.4 |v 5

• 701 _0 |a 关口淳 |A guan kou chun |4 著

• 702 _0 |a 方书农 |A fang shu nong |4 译

• 801 _0 |a CN |b 湖北三新 |c 20240530

• 905 __ |a LIB |d TQ572.4/2