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• 200 1_ |a 半导体集成电路制造技术 |9 ban dao ti ji cheng dian lu zhi zao ji shu |d Microfabrication technology of semiconductor integrated circuits |f 张亚非等编著 |z eng |e

• 205 __ |a

• 210 __ |a 北京 |c 高等教育出版社 |d 2006

• 215 __ |a 390页 |d 24cm

• 225 __ |a 长江学者论丛

• 300 __ |a “长江学者”学术著作出版资助项目

• 330 __ |a 本书根据半导体集成电路的基本原理和内部结构以及版图设计，通过半导体材料制备、化学清洗、薄膜沉积、NP掺杂、光刻、金属化处理、生产整合与自动化等工艺整合，讲解集成电路的制造技术。

• 461 __ |1 001003240927 |1 2001 |a 长江学者论丛

• 510 __ |a Microfabrication technology of semiconductor integrated circuits |z eng

• 606 __ |a 半导体集成电路 |x 集成电路工艺

• 606 __ |a 半导体集成电路

• 606 __ |a 集成电路工艺

• 690 __ |a TN430.5 |v 4

• 701 __ |a 张亚非 |9 zhang ya fei |c (电子学) |4 编著

• 801 __ |a CN |b 江苏新华 |c 20061017

• 905 __ |a ASTU |d TN430.5/3

• 915 __ |b 573451-3 |d TN430.5 |e 3 |a