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• 010 __ |a 978-7-5767-1009-0 |d CNY68.00

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• 200 1_ |a 微细加工技术 |A wei xi jia gong ji shu |d Microfabrication technology |f 张甲，王振龙，周丽杰编著 |z eng

• 210 __ |a 哈尔滨 |c 哈尔滨工业大学出版社 |d 2024

• 215 __ |a 313页 |c 图 |d 26cm

• 225 2_ |a 先进制造理论研究与工程技术系列 |A Xian Jin Zhi Zao Li Lun Yan Jiu Yu Gong Cheng Ji Shu Xi Lie

• 300 __ |a “十四五”时期国家重点出版物出版专项规划项目

• 314 __ |a 张甲，哈尔滨工业大学长聘教授，博士生导师。现任中国机械工程学会特种加工分会、中国仪器仪表学会微纳器件与系统分会，中国微米纳米技术学会理事。研究方向：柔性电子器件设计、制造与应用，机器人智能感知，智慧医疗微系统，高性能微纳传感器等。

• 330 __ |a 本书针对机械工程专业研究生开设的微细加工技术课程的需要，系统总结了近20年来传统机械加工精密及超精密发展，在此基础上形成了较为系统和完整的微细加工技术。本书从新时期智能制造对微纳加工技术提出的新要求出发，简明扼要地介绍了微纳加工特点，进而对每种可实现微纳加工的技术的基本原理、典型加工零件和应用领域进行讲述，使研究生对微细加工领域的技术有一个宏观的认识和了解，对于丰富学生知识结构、拓展学生科研思路、解决课题中具体问题都起到了指导性作用。

• 461 _0 |1 2001 |a 先进制造理论研究与工程技术系列

• 510 1_ |a Microfabrication technology |z eng

• 606 0_ |a 特种加工 |A Te Zhong Jia Gong

• 690 __ |a TG66 |v 5

• 701 _0 |a 张甲 |A zhang jia |4 编著

• 701 _0 |a 王振龙 |A wang zhen long |4 编著

• 701 _0 |a 周丽杰 |A zhou li jie |4 编著

• 801 _0 |a CN |b LIB |c 20250701

• 905 __ |a LIB |d TG66/19