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• 010 __ |a 978-7-5606-6530-6 |d CNY49.00

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• 102 __ |a CN |b 610000

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• 106 __ |a r

• 200 1_ |a 新型微机电系统与器件 |A xin xing wei ji dian xi tong yu qi jian |f 马宗敏主编

• 210 __ |a 西安 |c 西安电子科技大学出版社 |d 2022

• 215 __ |a 312页 |c 图 |d 26cm

• 300 __ |a 高等学校微电子类专业系列教材

• 312 __ |a 封面英文题名：New micro-electro-mechanical systems and devices

• 330 __ |a 本书共七章，内容包括：近年来微机电系统的发展、MEMS惯性器件及系统、回音壁模式微腔器件及系统、典型水声传感器件及系统、典型高温压力传感器件及系统、量子传感器件及系统、柔性传感器件及系统。

• 510 1_ |a New micro-electro-mechanical systems and devices |z eng

• 606 0_ |a 微机电系统 |x 高等学校 |j 教材

• 690 __ |a TH-39 |v 5

• 701 _0 |a 马宗敏 |A ma zong min |f (1980-) |4 主编