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• 005 20151021142400.0

• 010 __ |a 978-7-121-23712-6 |d CNY39.80

• 092 __ |a CN |b 人天642-3142

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• 106 __ |a r

• 200 1_ |a 基于机械—化学方法的微纳制造技术 |A ji yu ji xie — hua xue fang fa de wei na zhi zao ji shu |f 史立秋著

• 210 __ |a 北京 |c 电子工业出版社 |d 2014.07

• 215 __ |a 93页 |c 图 |d 24cm

• 300 __ |a 国家自然科学基金资助出版 2014年度黑龙江省高校新世纪优秀人才支持计划

• 330 __ |a 本书共6章，叙述了应用机械-化学方法在硅表面制造功能性微纳结构的全过程及其表征与分析，并对后期的应用进行系统的研究。

• 333 __ |a 从事或有兴趣于纳米科技研究的读者

• 606 0_ |a 半导体材料 |A Ban Dao Ti Cai Liao |x 纳米材料 |x 硅 |x 生产工艺

• 606 0_ |a 半导体材料 |A Ban Dao Ti Cai Liao

• 606 0_ |a 纳米材料 |A Na Mi Cai Liao

• 606 0_ |a 硅 |A Gui

• 690 __ |a TN304.1 |v 5

• 701 _0 |a 史立秋 |A shi li qiu |4 著

• 801 _0 |a CN |b 人天书店 |c 20140815

• 901 __ |a 电子工业出版社

• 905 __ |a LIB |d TN304.1/2

• 962 __ |a 5305380

• 997 __ |a 期货