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• 200 1_ |a 薄膜材料制备原理、技术及应用 |A Bo Mo Cai Liao Zhi Bei Yuan Li、 Ji Shu Ji Ying Yong |f 唐伟忠著

• 205 __ |a 2版

• 210 __ |a 北京 |c 冶金工业出版社 |d 2003 |h 2007重印

• 215 __ |a 10,323页 |c 图 |d 21cm

• 330 __ |a 本书以薄膜材料为中心，介绍了薄膜技术中常用的真空技术基础知识，各种物理和化学气相沉积技术和方法，薄膜材料的形核及生长理论，等。

• 606 0_ |a 薄膜制品 |x 制备

• 690 __ |a TQ320.72 |v 4

• 701 _0 |a 唐伟忠 |A Tang Wei Zhong |4 著

• 801 _0 |a CN |b LIB |c 20240422

• 905 __ |a LIB |d TQ320.72/10-2