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• 010 __ |a 978-7-118-11947-3 |d CNY188.00

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• 200 1_ |a MEMS技术前沿与应用发展 |A MEMSji shu qian yan yu ying yong fa zhan |d = The frontier and application development of mems technology |f 尤政, 赵嘉昊编著 |z eng

• 210 __ |a 北京 |c 国防工业出版社 |d 2019.10

• 215 __ |a 348页 |c 图 |d 24cm

• 225 2_ |a 微米纳米技术丛书 |A wei mi na mi ji shu cong shu |i MEMS与微系统系列

• 300 __ |a “十二五”国家重点图书出版规划项目

• 320 __ |a 有书目

• 330 __ |a 本书首先从MEMS的概念内容、发展历史、优势特点、应用领域等方面概述了MEMS技术，然后从共性技术、典型应用等角度重点介绍了各类MEMS技术的国内外进展，国内外MEMS应用研究的实例，MEMS应用现状及发展趋势。

• 333 __ |a 适合于MEMS技术、微系统技术等领域的科技开发者、科研管理者，高等院校的科研人员、高年级本科生、研究生以及相关科技人员阅读

• 410 _0 |1 2001 |a 微米纳米技术丛书 |i MEMS与微系统系列

• 510 1_ |a Frontier and application development of mems technology |z eng

• 606 0_ |a 微电机 |A wei dian ji

• 690 __ |a TM38 |v 5

• 701 _0 |a 尤政 |A you zheng |4 编著

• 701 _0 |a 赵嘉昊 |A zhao jia hao |4 编著

• 801 _0 |a CN |b 江苏新华 |c 20200402

• 905 __ |a LIB |d TM38/15