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• 010 __ |a 978-7-03-026862-4 |d CNY35.00

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• 200 1_ |a 用于恶劣环境的碳化硅微机电系统 |9 yong yu e lie huan jing de tan hua gui wei ji dian xi tong |f (英)张(Rebecca Cheung)著 |g 王晓浩, 唐飞, 王文弢译

• 210 __ |a 北京 |c 科学出版社 |d 2010

• 215 __ |a 121页 |c 图 |d 24cm

• 225 2_ |a 微纳技术著作丛书 |9 wei na ji shu zhu zuo cong shu

• 314 __ |a 责任者Cheung规范汉译姓: 张

• 320 __ |a 有书目

• 330 __ |a 碳化硅以其优异的温度特性、电迁移特性、机械特性等, 越来越被微电子和微机电系统研究领域所关注, 不断有新的研究群体介入这一材料及其应用的研究。本书是目前译者见到的唯一一本系统论述碳化硅微机电系统的著作, 本书系统综述了碳化硅生长、加工、接触、腐蚀和应用等环节的技术和现状, 汇聚了作者大量的经验和智慧。

• 461 _0 |1 2001 |a 微纳技术著作丛书

• 606 0_ |a 半导体材料 |9 ban dao ti cai liao |x 微电子技术 |x 研究

• 606 0_ |a 半导体材料 |9 ban dao ti cai liao

• 606 0_ |a 微电子技术 |9 wei dian zi ji shu

• 690 __ |a TN304 |v 4

• 701 _1 |c (英) |a 张 |9 zhang |g (Cheung, Rebecca) |4 著

• 702 _0 |a 王晓浩 |9 wang xiao hao |4 译

• 702 _0 |a 唐飞 |9 tang fei |4 译

• 702 _0 |a 王文弢 |9 wang wen tao |4 译

• 801 __ |c 20101118

• 905 __ |a ASTU |d TN304/4

• 915 __ |a ASTU |d TN304 |e 4 |b 1705092-4