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• 200 1_ |a 微米纳米器件测试技术 |A Wei Mi Na Mi Qi Jian Ce Shi Ji Shu |d = Micro-nanometer devices measuring technology |f 张文栋等编著 |z eng

• 210 __ |a 北京 |c 国防工业出版社 |d 2012

• 215 __ |a 259页 |c 图 |d 24cm

• 225 2_ |a 微米纳米技术丛书 |i MEMS与微系统系列

• 306 __ |a 国家科学技术学术著作出版基金资助出版 总装备部国防科技图书出版基金资助

• 320 __ |a 有书目

• 330 __ |a 本书主要内容有微纳测试技术概述、微纳几何量测试技术、微纳动态测试技术、微纳力学量测试技术、MEMS在线测试技术、典型微纳器件测试技术等。

• 410 _0 |1 2001 |a 微米纳米技术丛书 |i MEMS与微系统系列

• 510 1_ |a Micro-nanometer devices measuring technology |z eng

• 606 0_ |a 纳米材料 |A Na Mi Cai Liao |x 微电子技术 |x 电子器件 |x 测试技术

• 690 __ |a TN4 |v 4

• 701 _0 |a 张文栋 |A Zhang Wen Dong |4 编著

• 801 _0 |a CN |b 安徽新华 |c 20130909

• 905 __ |a ASTU |d TN4/33

• 915 __ |a AHSTU |b 2337311-12 |d TN4 |f 2 |e 33