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- 010 __ |a 7-5053-9493-2 |d CNY55.00 |b
- 100 __ |a 20040129d2004 em y0chiy0110 ea
- 200 1_ |a 半导体制造技术 |9 ban dao ti zhi zao ji shu |f (美)Michael Quirk,(美)Julian Serda著 |g 韩郑生等译 |e |d
- 210 __ |a 北京 |c 电子工业出版社 |d 2004
- 215 __ |a 12,600页 |d 26cm
- 306 __ |a 电子工业出版社和Pearson Education培生教育出版亚洲有限公司合作出版
- 330 __ |a 全书共分二十章,内容包括半导体材料特性、器件技术、硅和硅片制备、半导体制造中的化学品、集成电路制造工艺概况等。
- 510 __ |a Semiconductor Manufacturing Technology |z eng
- 701 __ |c (美) |a 奎克 |9 kui ke |c (Quirk, Michael) |4 著
- 701 __ |c (美) |a 塞尔达 |9 sai er da |c (Serda, Julian) |4 著
- 702 __ |a 韩郑生 |9 han zheng sheng |4 译
- 801 __ |a CN |b ATTC |c 20070515
- 905 __ |a ASTU |d TN305/3
- 915 __ |b 557494-8 |d TN305 |e 3 |a