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• 200 1_ |9 gui ji cheng dian lu gong yi ji chu |9 guan xu dong bian zhu |a 硅集成电路工艺基础 |f 关旭东编著

• 210 __ |a 北京 |c 北京大学出版社 |d 2003

• 215 _0 |a 305页 |c 图 |d 27cm

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• 320 __ |a 有书目。

• 330 __ |a 本书系统地讲述了硅集成电路制造的基础工艺。全书共十章，分别讲述了硅的晶体结构、硅集成电路制造中的单项工艺等内容。

• 333 __ |a 普通高等教育"十五"国家级规划教材

• 461 _1 |1 2001

• 606 __ |a 硅 |x 集成电路 |x 生产工艺

• 690 __ |a TN432 |v 4

• 701 __ |4 编著 |9 guan xu dong |a 关旭东

• 801 __ |a CN |b ATTC |c 20050705

• 905 __ |a ASTU |d TN432/6

• 915 __ |d TN432 |e 6 |b 296875-9