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• 010 __ |a 978-7-111-45837-1 |d CNY95.00

• 092 __ |a CN |b 人天646-3041

• 100 __ |a 20140904d2014 em y0chiy0110 ea

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• 102 __ |a CN |b 110000

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• 106 __ |a r

• 200 1_ |a 微系统光学检测技术 |A wei xi tong guang xue jian ce ji shu |f (德)伏尔夫岗·奥斯腾主编 |g 王伯雄等译

• 210 __ |a 北京 |c 机械工业出版社 |d 2014.08

• 215 __ |a 16,442页 |c 图 |d 24cm

• 225 2_ |a 国际制造业先进技术译丛 |A Guo Ji Zhi Zao Ye Xian Jin Ji Shu Yi Cong

• 312 __ |a 封面英文题名：Optical inspection of microsystems

• 330 __ |a 本书包括光散射法、扫描探针显微技术、共焦显微技术、条纹投影技术、栅格和莫尔技术、干涉显微技术、激光多普勒测振技术等。

• 333 __ |a 从事微纳制造、微系统检测的科技人员

• 461 _0 |1 2001 |a 国际制造业先进技术译丛

• 510 1_ |a Optical inspection of microsystems |z eng

• 606 0_ |a 微电子技术 |A Wei Dian Zi Ji Shu |x 光学测量

• 606 0_ |a 微电子技术 |A Wei Dian Zi Ji Shu

• 606 0_ |a 光学测量 |A Guang Xue Ce Liang

• 690 __ |a TB96 |v 5

• 701 _0 |c (德) |a 奥斯腾 |A ao si teng |c (Osten, Wolfgang) |4 主编

• 702 _0 |a 王伯雄 |A wang bo xiong |4 译

• 801 _0 |a CN |b 人天书店 |c 20140904

• 905 __ |a LIB |d TB96/2