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• 106 __ |a r

• 200 1_ |a 微纳制造 |A wei na zhi zao |d = Micro and nanomanufacturing |f Mark J. Jackson |e

• 205 __ |a 影印版

• 210 __ |a 北京 |c 科学出版社 |d 2007

• 215 __ |a x, 699页 |c 图 |d 24cm

• 225 __ |a 微纳技术著作丛书 |A wei na ji shu zhu zuo cong shu

• 314 __ |a CIP数据题责任者汉译姓: 杰克逊

• 320 __ |a 有书目和索引

• 330 __ |a 纳米技术是当前科学研究与工业开发的热门领域之一。本书全面阐述了微纳器件的设计和制造方面的知识，以及在设计和制造时所要考虑的诸多因素。书中涵盖了多种制造技术，包括微纳制造技术、体和表面微加工技术、LiGA技术、薄膜沉积技术、纳加工技术等。

• 410 __ |1 2001 |a 微纳技术著作丛书

• 606 __ |a 纳米材料 |A na mi cai liao |x 加工工艺 |x 英文

• 690 __ |a TB383 |v 4

• 701 __ |a 杰克逊, |A jie ke xun , |b M. J. |g (Jackson, Mark J.) |4 编著

• 801 __ |a CN |b ATSU |c 20070905

• 905 __ |a ASTU |d TB383/37

• 915 __ |b 622194-7 |d TB383 |e 37 |a