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• 010 __ |a 978-7-121-28022-1 |d CNY128.00

• 100 __ |a 20180315d2018 em y0chiy50 ea

• 101 1_ |a chi |c eng

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• 106 __ |a r

• 200 1_ |a 等离子体放电与材料工艺原理 |A Deng Li Zi Ti Fang Dian Yu Cai Liao Gong Yi Yuan Li |d Principles of plasma discharges and materials processing |f (美)Michael A. Lieberman，(美)Allan J. Lichtenberg著 |g 蒲以康等译 |z eng

• 205 __ |a 第2版

• 210 __ |a 北京 |c 电子工业出版社 |d 2018

• 215 __ |a 28,536页 |c 图 |d 26cm

• 225 2_ |a 经典译丛 |A Jing Dian Yi Cong |i 微电子学

• 330 __ |a 本书共18章，内容包括等离子体的基础知识、等离子体放电过程中的粒子平衡和能量平衡、容性和感性放电、波加热的气体放电、直流放电、刻蚀、沉积与注入、尘埃等离子体，以及气体放电的动理论等。

• 410 _0 |1 2001 |a 经典译丛

• 410 _0 |1 2001 |a 微电子学

• 510 1_ |a Principles of plasma discharges and materials processing |z eng

• 606 0_ |a 等离子体 |A Deng Li Zi Ti |x 放电

• 690 __ |a O53 |v 5

• 701 _0 |c (美) |a 力伯曼 |A Li Bai Man |c (Lieberman, Michael A.) |4 著

• 701 _0 |c (美) |a 里登伯格 |A Li Deng Bai Ge |c (Lichtenberg, Allan J.) |4 著

• 702 _0 |a 蒲以康 |A Pu Yi Kang |4 译

• 801 _0 |a CN |b LIB |c 20181209

• 905 __ |a LIB |d O53/27-2