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• 010 __ |a 978-7-5478-7044-0 |d CNY178.00

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• 200 1_ |a 集成电路先进工艺制造 |A ji cheng dian lu xian jin gong yi zhi zao |f 陆卫，宋艳汝主编

• 210 __ |a 上海 |c 上海科学技术出版社 |d 2025

• 215 __ |a 10,436页 |c 彩图 |d 24cm

• 314 __ |a 本书参编：彭鹏飞，张妍亭，刘娟娟，杨津津，翁思远等

• 314 __ |a 陆卫，上海科技大学教授，上海科技大学物质科学与技术学院执行院长、中国空间科学学会副理事长。宋艳汝，上海科技大学材料器件中心助理主任、技术负责人、副研究员。从事超导光电探测器及超导工艺技术研发。

• 330 __ |a 本书从集成电路制造的工艺、设备、厂务3个关键内容出发，融合了集成电路制造的理论基础和前沿实践技术，深入浅出地探讨了集成电路制造的全过程。通过大量工艺设备的使用案例分析、实验数据、设备操作标准程序和教学实践视频，帮助读者掌握实际操作。此外，在介绍当前主流制造技术的同时，还深入讲解了产业界量产设备的基本原理、动力需求和应用实践。

• 606 0_ |a 集成电路工艺 |A Ji Cheng Dian Lu Gong Yi

• 690 __ |a TN405 |v 5

• 701 _0 |a 陆卫 |A lu wei |4 主编

• 701 _0 |a 宋艳汝 |A song yan ru |4 主编

• 702 _0 |a 彭鹏飞 |A peng peng fei |4 参编

• 702 _0 |a 张妍亭 |A zhang yan ting |4 参编

• 801 _0 |a CN |b LIB |c 20250701

• 905 __ |a LIB |d TN405/35