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• 200 1_ |a 微电子机械系统 |9 wei dian zi ji xie xi tong |f 姜岩峰编著 |e |d

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• 210 __ |a 北京 |c 化学工业出版社 |d 2006

• 215 __ |a 194页 |d 26cm

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• 330 __ |a 本书介绍了微电子机械系统(MEMS)相关的基础知识、主要工艺和器件结构等方面内容，对该领域的热点研究问题进行了探讨。

• 606 __ |a 微电子技术

• 610 __ |a MEMS

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• 701 __ |a 姜岩峰 |9 jiang yan feng |4 编著

• 801 __ |a CN |b 江苏新华 |c 20070719

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• 915 __ |b 572142-44 |d TN4 |e 24 |a 安徽科技学院