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• 000 01651nam 2200361 450

• 001 0000528368

• 005 20200914090500.0

• 010 __ |a 978-7-111-63763-9 |d CNY119.00

• 100 __ |a 20200120d2020 em y0chiy50 ea

• 101 1_ |a chi |c eng

• 102 __ |a CN |b 110000

• 105 __ |a ak a 000yy

• 106 __ |a r

• 200 1_ |a 压电微机电谐振器 |A ya dian wei ji dian xie zhen qi |f (美) 哈梅特·布格拉, 詹卢卡·皮亚扎主编 |g 吴涛, 李昕欣等译

• 210 __ |a 北京 |c 机械工业出版社 |d 2020.01

• 215 __ |a XI, 351页 |c 图 |d 24cm

• 225 2_ |a 微纳机电系统先进技术研究与应用丛书 |A wei na ji dian xi tong xian jin ji shu yan jiu yu ying yong cong shu

• 306 __ |a 由Springer授权

• 312 __ |a 英文原题名取自于封面

• 320 __ |a 有书目

• 330 __ |a 本书主要介绍压电MEMS谐振器的各种制作材料、工艺、参数、特性、测试和评估方法等，并针对相关器件商业化难题进行了讨论，给出了两个成功案例。本书共16章，包含4部分内容：第I部分介绍了科研环境下广泛使用的MEMS谐振器压电材料；第II部分介绍了相关谐振器的种类和特色；第III部分介绍了压电谐振器的较为先进的设计理念以及建模、测试和评估方法；第IV部分介绍了压电MEMS谐振器的商业化问题，给出了相关案例。

• 333 __ |a 从事电压MEMS谐振器研究的工程师和科研人员

• 410 _0 |1 2001 |a 微纳机电系统先进技术研究与应用丛书

• 500 10 |a Piezoelectric MEMS resonators |A Piezoelectric Mems Resonators |m Chinese

• 606 0_ |a 微电机 |A wei dian ji |x 谐振器 |x 研究

• 690 __ |a TN629.1 |v 5

• 690 __ |a TN6 |v 4

• 701 _1 |a 布格拉 |A bu ge la |g (Bhugra, Harmeet) |4 主编

• 701 _1 |a 皮亚扎 |A pi ya zha |g (Piazza, Gianluca) |4 主编

• 702 _0 |a 吴涛 |A wu tao |4 译

• 702 _0 |a 李昕欣 |A li xin xin |4 译

• 801 _0 |a CN |b 江苏新华 |c 20200119

• 905 __ |a LIB |d TN6/65