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• 010 __ |a 7-5025-7224-4 |b 精装 |d CNY35.00

• 100 __ |a 20060406d2005 em y0chiy0121 ea

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• 200 1_ |a 硅单晶抛光片的加工技术 |A Gui Dan Jing Pao Guang Pian De Jia Gong Ji Shu |f 张厥宗编著

• 210 __ |a 北京 |c 化学工业出版社 |d 2005

• 215 __ |a 304页 |c 图 |d 21cm

• 300 __ |a 信息功能材料类图书

• 320 __ |a 有书目 (第299-304页)

• 330 __ |a 本书重点阐述了硅单晶抛光片的加工制备技术，大直径硅片的运、载，硅单晶、抛光片的测试，洁净室技术及三废处理等内容。

• 606 0_ |a 半导体材料 |x 硅 |x 抛光 |x 加工工艺

• 690 __ |a TN304.1+2 |v 4

• 701 _0 |4 编著 |a 张厥宗 |A Zhang Jue Zong

• 801 _0 |a CN |b ASTU |c 20060406

• 905 __ |a ASTU |d TN304.1+2/1

• 915 __ |d TN304.1+2 |b 431905-09 |e 1