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中文图书1.集成电路工艺实验基础 TN405/29
馆藏复本:6
可借复本:6 石建军, 郭颖主编
东华大学出版社 2023
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中文图书2.集成电路封装技术 TN405/27
馆藏复本:1
可借复本:1 卢静,马岗强,何栩翊主编
西安电子科技大学出版社 2022
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中文图书3.计算光刻与版图优化 TN405.98/2
馆藏复本:3
可借复本:3 韦亚一[等]著
电子工业出版社 2021
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中文图书4.等离子体蚀刻及其在大规模集成电路制造中的应用 TN405.98/1
馆藏复本:1
可借复本:1 张海洋等编著
清华大学出版社 2018.02
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中文图书5.晶圆级3D IC工艺技术 TN405/19
馆藏复本:2
可借复本:2 (新加坡) 陈全胜, (美) 罗纳德·J. 古特曼, L. 拉斐尔·赖夫著
中国宇航出版社 2016.10
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中文图书6.集成电路制造技术 TN405/16
馆藏复本:3
可借复本:3 杜中一著
化学工业出版社 2016
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中文图书7.纳米集成电路制造工艺 TN405/11
馆藏复本:5
可借复本:5 张汝京等编著
清华大学出版社 2014.07
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中文图书8.集成电路制造技术:原理与工艺 TN405/5
馆藏复本:3
可借复本:3 王蔚,田丽,任明远编著
电子工业出版社 2010
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中文图书9.半导体集成电路.第2版 TN430.5/5
馆藏复本:3
可借复本:3 朱正涌, 张海洋, 朱元红编著
清华大学出版社 2009
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中文图书10.半导体集成电路制造技术: TN430.5/3
馆藏复本:3
可借复本:3 张亚非等编著
高等教育出版社 2006
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中文图书11.集成电路制造工艺 TN405/2
馆藏复本:3
可借复本:3 林明祥编著
机械工业出版社 2005
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中文图书12.半导体集成电路制造手册: TN430.5/4
馆藏复本:1
可借复本:1 (美) Hwaiyu Geng等著
电子工业出版社 2006
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