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中文图书1.机械设计手册:单行本,微机电系统设计与激光.第5版 TH122-62/74-5
馆藏复本：2
可借复本：2 主编闻邦椿
机械工业出版社 2015.01
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中文图书2.微机电系统 (MEMS) 设计和原型设计指南 TM380.2-62/1
馆藏复本：2
可借复本：2 (美) 库比(Joel A. Kubby)著
国防工业出版社 2014
(0) 馆藏
