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中文图书1.计算光刻与版图优化 TN405.98/2
馆藏复本:3
可借复本:3 韦亚一[等]著
电子工业出版社 2021
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中文图书2.等离子体蚀刻及其在大规模集成电路制造中的应用 TN405.98/1
馆藏复本:1
可借复本:1 张海洋等编著
清华大学出版社 2018.02
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中文图书3.聚焦离子束微纳加工技术: TL632/1
馆藏复本:4
可借复本:4 顾文琪, 马向国, 李文萍著
北京工业大学出版社 2006
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